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TONiC™ UHV 增量式光學尺系統搭配 REXM20(角度)旋轉環

特性

  • 讀頭尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
  • 能達到 1 nm 解析度
  • 速度高達 3,673 rpm
  • 類比或數位輸出
  • 超低的細分誤差 (SDE):一般 < ±30 nm
  • 光學 IN-TRAC™ 參考原點

優點

  • 超高真空 (UHV)
  • 大截面環具備 ±1 弧秒的安裝精度
  • 超輕巧型編碼器讀頭具備動態訊號調節功能,能提高運動控制性能
  • 提供診斷套件協助處理棘手安裝與系統優化。
網站橫幅的透明修補程式

什麽是 TONiC UHV?

TONiC UHV 將 Renishaw 的輕巧型非接觸式光學尺系統引進超高真空應用,為客戶提供更卓越的運動控制性能。

TONiC 如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性,細分誤差通常超低,不到 ±30 nm,有助於實現優異的運動控制效能。

什麼是 REXM20 環?

REXM20 為一體式不鏽鋼環,具有的 20 µm 刻矩增量刻度直接標示於周圍,其具備 IN-TRAC™ 光學參考原點。REXM20 擁有大截面,可將安裝錯誤減至最低,但偏心率例外,這種錯誤可使用 DSi(雙訊號介面)及雙讀頭輕鬆補正。REXM20 的整體安裝精度高達 ±1 弧秒,具備零連接損失特性和絕佳的重複性。
REXM20 有多種尺寸可供選擇(Ø52 mm 至 Ø417 mm)與刻線數,全部均具備大內徑,可進行彈性整合。非接觸式格式能消除反向間隙、軸扭曲(扭轉)及其他傳統封閉式光學尺固有的機械遲滯錯誤。

為什麼選擇這種光學尺系統?

超高真空 (UHV)

TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術,適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成,具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA),適用於許多用途,包括晶片搬運/測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。

超高安裝精度

REXM20 具備兩個 TONiC 讀頭及一個 TONiC DSi(雙訊號介面),故能達到極致的角度量測性能,提供絕佳的重複性及零連接損失特性,整體安裝精度優於 ±1 弧秒。REXM20 的大截面設計可將安裝錯誤減至最低,但偏心率例外,這種錯誤可使用 TONiC 雙讀頭的聯合輸出輕鬆補正。用 DSi 解決偏心率問題後,就只剩下刻度和 SDE,而此兩者的誤差都極小。

優異的量測功能

TONiC 光學尺配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。

TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE),使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。低抖動亦使得低速下的高精度應用能展現更平順的速度控制。

彈性配置

TONiC 系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置,多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。

TONiC 介面選項能進行數位、類比輸出或數位及類比訊號的雙輸出。TD(雙解析度)介面提供可選擇的雙解析度輸出,也提供於寬幅列印應用的 DPI 介面。TONiC 光學尺配置的彈性使 OEM 能在各種應用領域中受惠於優異的運動控制及高產量。

介面選項

TD(雙解析度)介面

  • 可選擇雙解析度正交輸出。
  • 介面選項適合需要高速運動的應用,結合更精密精度的運動。
Ti 介面(平方)

DOP(雙輸出)介面

  • 提供同步數位正交及 1Vpp 訊號。
  • 此介面在設計上適合用於須透過運動軸,將一或多項作業進行同步的應用。TONiC 雙輸出 (DOP) 介面

DSi(雙訊號介面)

  • Renishaw 的 DSi 結合來自 REXM20 環(局部旋轉應用則採用 REXT20 環)上 TONiC 雙讀頭的增量訊號,以補償軸承晃動產生的影響,並消除奇數諧波誤差(包含偏心率),提供一般為 ±2.0 弧秒的整體安裝精度。


帶RESM圓環的TONiC雙訊號介面

選配診斷工具組

TONiC™ 診斷工具組(軟體及硬體)

可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝,提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用,即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線(於套件中提供)或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。

瞭解所有關於 TONIC 診斷工具組的資訊。

技術規格

量測標準

REXM20:一體式超高精度不鏽鋼環

亦提供適用於局部旋轉應用的 REXT20

讀頭尺寸(長 x 寬 x 高)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

柵距

20 μm

熱膨脹係數(20 °C 時)15.5 ±0.5 μm/m/°C

環外徑

52 mm 至 417 mm

刻線數

8 192 至 65 536(依環尺寸而定)

參考原點

REXM20:單一 IN-TRAC 參考原點環

REXT20:雙參考原點環適用於局部旋轉應用

整體安裝精度(含 2 個讀頭)

(直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒

(直徑 75 mm)±1.5 弧秒

(直徑 ≤57 mm)±2 弧秒

最高速度

類比

數位

(詳見規格手冊)

-3 dB 時為 3673 rpm(位於 52 mm REXM20)

3673 rpm(位於 52 mm REXM20 時為 5 μm 解析度 TONiC)

細分誤差 (SDE)

一般低於 ±30 nm

動態訊號控制

即時訊號調節,包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC),優化操作時的性能

增量訊號

類比

數位

(若要瞭解角度解析度的詳細資訊,請參閱規格資料表)

1 Vpp(20 μm 週期)

解析度範圍為 5 μm 至 1 nm

電氣連接

0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭(直接連接 TONiC 介面)

電源

5 V ±10%、< 100 mA(類比系統)、< 200 mA(數位系統)(無端接)

讀頭耗電量< 100 mA

振動(運作時)

於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2

衝擊(非工作)

1000 m/s2、6 ms、½ 正弦

工作溫度(系統)

0 °C 至 +70 °C

烘烤溫度(非操作)

120 °C(僅限讀頭及光學尺)

防護等級

讀頭:IP20

介面:IP20

纜線構造

鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體

請參閱規格手冊,了解詳細資訊。