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RLD10 無內部干涉儀

結合 Renishaw 獨特光纖傳輸系統的便利性和效能，並採用應用專屬的光學配置。

包含一個獨特的多通道條紋探測系統、雷射光閘和內置準直輔助鏡，可讓 RLD 輕鬆導入專業應用。

RLD10-XX 檢測頭僅提供 0° 版本。

特性和優點

  • 客製化光學解決方案－不含內部光學鏡組，因此可針對外部光學鏡組配置 RLD，以涵蓋一系列的應用。
  • 校正量測－適合搭配 Renishaw 校正光學鏡組系列，以便進行真直度、角度及線性量測。
  • 真空相容性－亦相容於 RVI20，可用於兩個特徵之間的相對量測。

規格

平面鏡應用反射鏡應用
軸行程0 m 至 1 m0 m 至 4 m
解析度（以 RLU 配置）類比正交 = λ/4 (158 nm)
數位正交 = 10 nm
RPI20 解析度 = 38.6 pm		類比正交 = λ/2 (316 nm)
數位正交 = 20 nm
RPI20 解析度 = 77.2 pm

系統非線性誤差* (SDE)

*不含介面

<±2.5 nm（低於 50 mm/sec，>70% 信號強度）
<±7.5 nm（在 1 m/sec，>50% 信號強度時）		<±5 nm（低於 100 mm/sec，>70% 訊號強度）
<±13 nm（在 2 m/sec，>50% 訊號強度時）
最高速度最高 1 m/sec最高 2 m/sec

產品資訊

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